磁控溅射仪采购项目采购公告

是否接受进口

拒绝进口

品牌

北京中科迈格科技有限公司 、包头希迪瑞科技有限公司 、内蒙古中科智能装备工程有限公司

型号

****-1、**-1-X、******

技术规格及参数

1.溅射室极限真空度：≤6.****-5 ** (经烘烤除气后)；系统真空检漏漏率：≤5.****-***.l/S；
系统从大气开始抽气：溅射室**分钟可达到****-4 **；
系统停泵关机**小时后真空度：≤***
2.3套高性能永磁共焦磁控溅射靶（其中含*个强磁靶,各溅射靶距离可调）。分布在*个圆周上，各靶可独立/顺次/共同工作，磁控靶通水冷却，采用磁控靶在上，垂直向下溅射成膜，磁控靶**、**、**兼容，可以溅射磁性材料，磁控靶配有气动挡板截流结构。
3.样品台布置在真空室底部，可放置最大直径*****样品，样品具有连续旋转功能，旋转0—**转/分连续可调。
4.加热装置在采用进口电阻丝进行加热，加热温度：室温—***°C，由热电偶闭环反馈控制，可控可调。
5.质量流量计+***控制进气系统（氩、氧、氧），流量分别为*******、******、******。
6.配有2台数字式****脉冲直流电源和1台****全自动匹配射频电源。1套-****脉冲偏压电源
7.加热装置在采用进口氮化钽加热器进行加热，加热温度：室温—****°C，可耐氧气、耐氮气进行化学反应沉积，由热电偶闭环反馈控制，可控可调。
8.尺寸为4英寸的样品可均镀膜，不均匀度 为≤±3%（以镀膜金属薄膜进行验收，镀金属膜厚度约*****）
9.后期提供相关涂层材料的研发协助，包括中熵合金，高熵合金，金属氧化物，高分子涂层等磁控溅射沉积工艺优化以及新型涂层材料开发

质保期

质保期限为1年

售后要求

1、设备安装、调试和验收:卖方在合同生效后的1个月内向用户提供详细的安装要求并提供技术咨询;仪器到达用户指定交货地点后根据用户的时间安排，仪器制造商 (或代理商)在接到用户通知后15天内进行安装调试，直至通过验收 2、技术培训:在用户所在地对用户技术人员(至少2人) 进行至少两天的培训，培训日程视实际情况另走;培训内容包括仪器的技术原理、操作、数据处理、基本维护等。3、厂家保证提供及时优质的售后服务，提供7x24小时的售后服务，接到用户需求后8小时内响应，如有需要48小时内到达用户现场。 4、质保期过后，厂家对仪器提供终身维修服务，能提供广泛、即时、优惠的技术服务，并提供质品上乘、价格合理的各种配件。 5、后期提供相关涂层材料的研发协助，包括中熵合金，高熵合金，金属氧化物，高分子涂层等磁控溅射沉积工艺优化以及新型涂层材料开发